Ohkura Vietnam,Lò xử lý nhiệt kiểu đứng DF1600 Ohkura

DF1600 Ohkura Vertical Heat Treatment Furnace – Lò xử lý nhiệt kiểu đứng

Ohkura DF1600 là một lò xử lý nhiệt kiểu đứng (lò khuếch tán) được sử dụng cho các quá trình xử lý nhiệt trong quá trình sản xuất chất bán dẫn. Lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn hiện đang có sự thay đổi từ sản xuất hàng loạt sang sản xuất nhiều loại sản phẩm khác nhau với số lượng nhỏ. Lò xử lý nhiệt của Ohkura này cho phép xử lý công suất nhỏ, tốc độ cao, đồng thời có kích thước phù hợp để có thể lắp đặt trong các phòng sạch hiện có.

Đặc trưng của lò xử lý nhiệt – heat treatment furnace DF1600

• Có thể tăng và giảm nhiệt độ tốc độ cao (tương thích với FTP)

Một máy gia nhiệt độc đáo sử dụng hệ thống gia nhiệt điện trở thẳng đứng cho phép tăng nhiệt độ tốc độ cao và tốc độ cao ở nhiệt độ cao, cho phép cả quá trình xử lý tăng và giảm nhiệt độ tốc độ cao và xử lý tiêu chuẩn, được thực hiện với một thiết bị duy nhất.

• Hệ thống chuyển wafer độc đáo của công ty chúng tôi

Thiết bị có bộ phận truyền động có độ tin cậy cao sử dụng hệ thống truyền wafer độc đáo của công ty chúng tôi.

• Được trang bị cơ chế chuyển đổi cao độ

Cao độ rãnh trên mạn thuyền có thể được chuyển đổi thành bất kỳ cao độ mong muốn nào để chuyển tấm wafer (phạm vi cài đặt: 4,76 - 9,52 mm). Vận chuyển Wafer được thực hiện từ băng này sang băng khác.

• Thiết bị nhấn mạnh năng suất và khả năng sử dụng

Thành phần điều khiển sử dụng bảng điều khiển TFT với màn hình cảm ứng, dành cho thiết bị có năng suất và khả năng sử dụng cao.

• Có thể vào lò nung wafer nhiệt độ thấp

Có thể vào lò nung wafer ở nhiệt độ thấp, do đó có thể giảm đáng kể ảnh hưởng của sự cuốn vào của không khí.

• Tháo và lắp các ống phản ứng an toàn và dễ dàng

Sử dụng thang máy tự động, các ống phản ứng có thể được tháo ra và lắp đặt một cách an toàn và dễ dàng hơn.

• Hệ thống kiểm soát nhiệt độ độc đáo

Hệ thống điều chỉnh nhiệt độ và lò sưởi sử dụng các phương pháp độc đáo để cải thiện đáng kể các đặc tính phục hồi nhiệt độ.

• Khả năng bảo trì

Việc thiết kế đã được cân nhắc kỹ lưỡng để ngay cả khi nhiều thiết bị được lắp đặt, khả năng bảo trì và khả năng sử dụng của chúng sẽ không bị mất.

Phiên bản khác  của Ohkura Lò xử lý nhiệt kiểu ngang  là Ohkura DF2600 – nhiệt độ hoạt động lên tới 130 ^oC

Liên hệ & Báo giá chi tiết:

Sale ANS Vietnam:

thuyho@ansgroup.asia

  Trực tiếp FaceBook

 Trực tiếp Zalo: 0783698645